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产品中心
- Formula分子式
Gas Name
中文名称
供气形式
BCl3 Boron
Trichloride
三氯化硼
47L , 470L
CHF3
Trifluoromethane
三氟甲烷
47L , 470L
C2F6
Hexafluoroethane
六氟乙烷
47L , 470L
C3F8
Octafluoropropane
八氟丙烷
47L , 470L
C4F8
Octafluorocyclobutane
八氟环丁烷
47L , 470L
混合气1
PH3+H2/N2/Ar/He
磷烷混合气
47L , 470L
混合气2
SiH4+ H2/N2/Ar/He
硅烷混合气
47L
混合气3
B2H6+H2
乙硼烷混氢
47L , 470L
混合气4
Si2H6+H2
乙硅烷混氢
47L
混合气5
TMB+H2
三甲基硼混氢
47L , 470L
混合气6
H2+Ar/N2、O2+Ar
氢氩、氢氮、氧氩
47L
工业气
N2 ,H2，O2，Ar，CO2
3N`5N
47L , 470L
C3H9Al
Trimethylaluminium
三甲基铝（TMA）
22L, 110L , 200L , 500L
SiH4
Silane
硅烷
47L , 470L
He
Helium
氦气
47L
N2O
nitrous oxide
一氧化二氮（笑气）
47L , 440L
BBr3
Boron tribromide
三溴化硼
47L
POCl3
phosphorus oxychloride
三氯氧磷
6N，7N
